XY STATE

Z9b 5441 2
產品描述

XY模組已完成了最適當的精度、預壓控制的組裝作業,不用擔心繁瑣的調整作業,直接使用可節省寶貴時間。也可依客戶需求客製所需尺寸。

產品規格
  • 品牌:ACE
  • 分類:高精度XY平台
  • 子分類:高精度XY平台

  

規格

行程

準確度

雙向重現性

解析度

俯仰

偏擺

最大速度

最大加速度

連續推力

負載能力

平台質量

材質

Travel 

Accuracy

Bidirectional Repeatability

Resolution

Pitch

Yaw

Maximum Speed

Maximum Acceleration

Continuous Force

Load Capacity

Stage Mass

Material

(mm)

(µm)

(µm)

(µm)

(arc sec)

(arc sec)

(m∕s)

(g)

(N)

(kg)

(kg)

 

XY-100

100 * 100

±2

±1.5

0.1

8

8

500

0.2

46

6

10

鋁合金

XY-200

200 * 200

±2

±1.5

0.1

8

8

500

0.2

57

14

24

鋁合金

XY-300

300 * 300

±2

±1.5

0.1

10

10

500

0.2

69

20

50

鋁合金