MONO

產品描述

●專為半導體設備優化的拾取器設計
●Zero Magnetic Flux Leakage(無磁泄露)
●超精密位置控制(0.1 μm線性編碼器分辨率)
●全直驅系統（Full Direct Drive System）
●超高速驅動
●軟著陸
●超輕量纖薄設計
●恆定反彈力的Constant Return Spring
●無軸承導軌的特殊設計
●優越的耐久性
●可選內置軟管或外置軟管

產品規格

品牌：PSMP
分類：線性馬達
子分類：晶片取放線馬模組

MONO-5.9T規格

Porduct	Part Numbering	MONO-5.9T
	軸數	1
	Z軸	SPLM
	驅動傳達方式	Direct Drive*¹

Linear Axis	電壓	Vdc		24
	功率	W	額定	1.06
			峰值	3.82
	推力	N	額定	2.12^*2
			峰值	7.64
	電流	Arms	額定	0.75
			峰值	2.7
	推力常數	uN/Arms		2828422
	反電動勢常數	uVRMS/(m/s)		953271
	相數			3
	最高速度	mm/s		500
	操作方向			垂直
	磁極距(N-N)	mm		12.6
	Backyoke Leakage Magnetic Flux	T		0.05
	編碼器			光學式 – 增量型
	輸出訊號			ABZ Diffrential
	編碼器解析度	µm		1.25
		counts/m		800,000
	Home (index)訊號			Yes
	ESD	Ω		10^6 - 10^9
	運動直線度	mm		≤0.005
	重複定位精度(Z軸)	µm		≤10 or ≤1 (optional)

Dimension	寬度	mm		5.9^*3
	深度	mm	安裝面-本體	39
			安裝面-軸心	36±0.03
	高度	mm		93
	行程	mm		10^*4
	可動部份重量	g		15^*5
	總重量	g		58
	回位彈簧力^*6	N		0.5

Cable	數量	1
	類型	Moving Cable for Robot
	屏蔽類型	Spiral Wire shield

Note:

提供的規格基於模擬和樣品測量，具體使用會有所差異

(1)無中間機構（齒輪或皮帶），馬達直接連接的驅動系統

(2)不包含彈簧負載的馬達自身輸出功率

(3)最小可間距6mm進行併行安裝

(4)行程可根據客户要求訂製，最小5mm 最大10mm

(5)不包含導軌負載的移動部件重量

(6)Constant Return Spring™可在斷電時使軸復位，以防止碰撞

MONO-7.8T規格

Porduct	Part Numbering	MONO-7.8T
	軸數	1
	Z軸	SPLM
	驅動傳達方式	Direct Drive*¹

Linear Axis	電壓	Vdc		24
	功率	W	額定	1.6
			峰值	5.47
	推力	N	額定	3.2^*2
			峰值	10.95
	電流	Arms	額定	0.8
			峰值	2.7
	推力常數	N/Arms		4.0
	反電動勢常數	uVRMS/(m/s)		1859708
	相數			3
	最高速度	mm/s		500
	操作方向			垂直
	磁極距(N-N)	mm		13.6
	Backyoke Leakage Magnetic Flux	T		0.001
	編碼器			光學式 – 增量型
	輸出訊號			ABZ Diffrential
	編碼器解析度	µm		0.1
		counts/m		10,000,000
	Home (index)訊號			Yes
	ESD	Ω		10^6 - 10^9
	運動直線度	mm		≤0.005
	重複定位精度(Z軸)	µm		≤1

Dimension	寬度	mm		7.8^*3
	深度	mm	安裝面-本體	44
			安裝面-軸心	37.5±0.03
	高度	mm		137.5
	行程	mm		10^*4
	可動部份重量	g		20^*5
	總重量	g		99
	回位彈簧力^*6	N		1

Cable	數量	1
	類型	Moving Cable for Robot
	屏蔽類型	Spiral Wire shield